ハイスペックな設備と環境を備え
お客さまのニーズに対応
操業開始時より品質第一の方針のもと、一貫して高品質を追求し続けてまいりました。また、ウェハー再生業界でいち早く 8 インチウェハー・
300mm ウェハーの量産ラインを導入し、ウェハーの大口径化にも積極的に対応してきました。
当社では、お客さまごとのさまざまなニーズに、きめ細かく対応しています。
Reclaim Processing
ウェハー再生加工
シリコンウェハーの再生とは
シリコンウェハーは高純度金属シリコンの単結晶を円板状に加工したもので、その表面に微細な電子回路を作り込んで切り分けたものが、半導体チップになります。
電子回路を作る工程は製品により異なりますが、中には 1,000 工程を超える場合もあります。製造工程では品質管理がとても重要で、さまざまなプロセスで品質確認用のウェハーを用いたチェックが行われます。そうした品質チェックに使用されたウェハーが、再生を目的としてお客さまから当社に送られてきます。
当社に届けられた使用済みウェハーは、チリやホコリ（異物）が極限まで遮断された特別な部屋（クリーンルームと呼ばれています）で、ケミカル処理・研磨・洗浄の各プロセスにより新品と同等の品質に再生され、お客さまへの返送後、再び品質確認などに使用されます。
シリコンウェハーの洗浄技術
シリコンウェハー再生加工の最終工程は、精密洗浄になります。
洗浄後のシリコンウェハーに規格サイズの異物が何個付着しているかを検査し、合格したウェハーのみが製品になります。
しかしその規格も年々厳格化（微細化）しており、洗浄技術の向上は最重要の必須課題となっています。
シリコンウェハー再生の流れ
